机械行业光大证券1、本土设备和零部件厂商销售额：前道设备继续保持高成长，后道封测设备增速放缓前道设备：拓荆科技、华海清科增长最快。拓荆科技2022年实现销售收入17.06亿元，同比增长125%，华海清科实现收入16.82亿元，同比增长109%，其次是盛美上海、芯源微，分别增长77%、67%，中微公司、北方华创、中科飞测分别增长52%、39%-61%、25%-66%。表1：半导体设备和零部件本土厂商年度销售公司201720182019202020212022688072.SH拓荆科技0.712.514.367.5817.06125%688120.SH华海清科0.190.362.113.868.0516.82109%688082.SH盛美上海2.545.507.5710.0716.2128.7377%688037.SH芯源微1.902.102.133.298.2913.8567%688012.SH中微公司9.7216.3919.4722.7331.0847.4052%002371.sZ北方华创22.2333.2440.5860.5696.83135-15639%-619%A21648.SH中科飞测0.300.562.383.614.5-6.025%-669%300604.SZ长川科技1.802.163.998.0415.11688200.SH1.492.192.553.978.7810.7122%301369.SZ联动科技1.501.561.482.023.44603061.SH金海通1.050.721.854.204.261%广立微0.310.661241.98A22064.SH品升装备0.231.221.952.1-23688419.SH耐科装备0.660.630.871.692.492.698%688409.SH富创精密2.252.534.818.4315.4383%A22580.SZ大族封测2.272.011.461.503.42688147.SH微导纳米0.422.163.134.286.8560%合计71.1791.57136.72225.72图1：半导体设备和得部件本土厂商年度销售额排名半导体设备本土厂商销售额排名160.00140.00■2021■2022120.00100.0080.0060.0040.0020.00资料来：各公司公告，光大证券研究所，单位：亿元注：北方华、中料飞测、品升装备采用2022年收入指引区间中值前道设备：拓荆科技、盛美上海、中微公司、微导纳米2022年加速成长。拓荆科技22年实现销售收入17.06亿元，同比增长125%，增速较2021年显著加快，而盛美上海、中微公司、微导纳米的2022年收入增速也均快于2021年。敬请参阅最后一页特别声明-2-证券研究报告