中航证券AVIC SECURITIES[证券研究报告]用中，2000i套刻精度(overlay)高，和NXE:3400BEUV光刻机接近，被视为EUV的良好补充，2050i在2000i的基础上进一步提高了生产效率。而1980Di在波长、孔径都与中高端的设备一致，实现了1.35NA行业最高的数值孔径，且可靠性高。单次曝光的分辨率在38m及以下，通过多次曝光理论上可以达到先进制程，但良率有所损失、成本高、且技术难度大，目前1980Di主流用在成熟制程。但ASML保留了TWINSCANNXT:1980Di出货的可能性，也为前期屡受制裁的半导体制造行业带来一线希望。◆国内扩产以12英寸成熟制程为主，增速较快，Capex维持高位根据我们对全球63家主流IDM/Foundry企业的产能统计，2021年未全球晶圆月产能2125万片（折合8英寸），2021-2024年以7%左右的增速增长。其中，内资产能326万片/月，占比约15%，到2024年有望增长至625万片/月，届时12英寸产能将达到155万片/月，保持30%以上的CAGR。从国内在建项目看，中芯国际有34万片/月的产能在建，华虹、粤芯、晶合集成等均有产能在建，且以28nm及以上成熟制程为主。尽管全球WFE呈下滑态势，但在芯片安全的底色背景下，国内尚未见大幅削减资本开支的动作，中芯国际预期今年capex与2022年基本一致，仍维持高位。◆制裁情况逐渐明朗，多重事件催化情绪，长期看好自主可控投资主线上周刘鹤副总理调研北京集成电路提及“新型举国体制”发展集成电路；大基金二期入股长江存储，扶持高端存储芯片攻坚克难；两会提及重组科技部，部分职责拟划入工信部等，由工信部引导产业规划及政策。多重事件强化了市场信心，我们在上月末提示，自主可控是长期的投资主线，半导体设备正处于估值底部区间，配置性价比凸显且安全边际较高。当前时点，我们认为市场情绪已起，应积极把握国产替代大浪潮下，设备、材料、零部件的投资机会。重点卡脖子、国产化率低的细分环节有望获得更大弹性，如光刻机零部件、光刻胶、涂胶显影、量测环节等。◆建议关注1)半导体设备：北方华创(3月金股)、芯源微、拓荆科技、华海清科；2)零部件：正帆科技、茂莱光学（光刻机零部件）、富创精密；3)半导体材料：华懋科技（光刻胶）、华特气体、雅克科技。◆风险提示中航证券研究所发布证券研究报告请务必阅读正文之后的免责声明部分2