安信证券ESSENCE SECURITIES到110亿美元以上量级。国内需求上看，内资在建12时晶圆制造产线预计合计将带来90亿美元工艺拉制设备需求，预计将继续支撑2023年起3-4年高需求。目竞争格局：美国M人独占半壁江山，二线厂商各有特色全球龙头KLA从光掩模版检测和膜厚测量起家，一路兼并收购实现90%以上产品覆盖率，2022年其半导体工艺控制系统收入规模70.8亿美元，同比增长36%，对应全球市占率52.4%。其他主要国际厂商中，AMT布局明场/掩模版缺陷检测及电子束技术，在电子束检测市场占据近50%份颜；ASML围绕光刻布局套刻误差和电子束量检测，2022年市占率5%；0 nto Innovation布局也相对全面，2022年市占6.2%；日本厂商Lasertec在EUV掩模版缺陷检测领域具备绝对优势；以色列厂商新星测量(Nova)专注量测板块；Camtek则重点发力先进封装端工艺控制。目国产进展：国产厂商各自突破，国产化率不足5%国产厂商中，中科飞测/上海精测/睿励仪器2022年营收分别为5.1/1.65/0.72亿元，合计营收仅7.5亿元，相较2022年中国大陆35亿美元的市场规模，半导体工艺控制设备的国产化率不足5%，替代空间巨大。近年来，国产半导体工艺设备公司均基于自身技术优势布局相关产品线，进展显著，从各自覆盖产品市场空间上看，中科飞测/上海精测/睿励仪器/东方晶源/上海微电子各自的SM比例分别为27.2%/51.5%/20%/13.9%/6.3%，中科飞测设备放量相对较快，而精测电子覆盖品类相对更广。建议关注核心国产半导体工艺控制设备厂商：1)精测电子：77.3%控股上海精测，覆盖产品SM比例51.5%，国产量产覆盖相对最广2)中科飞测：覆盖产品SM比例27.2%，2022年营收5.1亿元，国产放量相对最快3)中徽公司：34.75%持股睿励仪器，投资布局前道量检测设备，再增新成长曲线回风险提示：设备验证和国产化推进不及预期：下游晶圆厂扩产及招标不及预期：中美科技博弈影响上游供应链：市场空间/市占率等测算基于我们所做的关键参数假设可能存在误差。本报告版权属于安信证券股份有限公司，各项声明请参见报告尾页。2