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证券研究报告华鑫证券制造中的可刻蚀应用范围。在超过20个客户的逻辑、DRAM和3 D NAND等器件的生产线上进行超过1O0多个ICP刻蚀工艺的量产。M0CVD设备：截至2022年累计MOCVD产品出货量超过500腔，在氨化镓基M0CVD设备和Mini-LED显示外延片生产设备处于国际领先，针对Micro-LED应用的专用M0CVD设备正开发中，启动了应用于碳化硅功率器件外延生产设备的开发。公司在CCP、ICP、MOCVD设备中不断突破，看好未来市场份额进一步加大。■薄膜设备&光学检测设备进展喜人，期待未来持续放量突破公司布局的薄膜设备和光学检测设备进展喜人。薄膜设备：首台CD钨设备付运到关键存储客户端验证评估，计划研发更多的先进CVD和ALD设备，锗硅EPI设备已进入样机的设计、制造和调试阶段，预计薄膜设备的覆盖率将进一步增加。光学检测设备：公司投资睿励仪器布局光学检测设备，2022年增资后持股34.75%，容励仪器是国内少数几家进入国际领先的12英寸生产线的企业，是国内唯一进入某韩国领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。根据Gartner数据，薄膜沉积、检测设备分别是市场规模排名第二和第四的半导体设备，2022年市场规模分别为1540亿元和825亿元。公司在薄膜设备和光学检测设备两方面的布局进展喜人，所处市场空间广阔，未来有望伴随国产替代加速化演进，实现持续放量突破。预测公司2023-2025年收入分别为61.69、79.68、98.20亿元，EPS分别为2.35、2.92、3.51元，当前股价对应PE分别为78.2、63.1、52.4倍，维持“买入”投资评级。风险提示半导体市场需求不及预期：下游晶圆制造产能扩充不及预期风险：零部件短缺风险：新设备研发进度不及预期风险等。2022A2023E2024E2025E4.7406.1697.9689,82052.5%30.2%29.2%23.2%1.1701.4501.7972,16515.7%23.9%24.0%20.5%1.902.352.923.51ROE (X)7.6%8.7%9.9%10.9%请阅读最后一页重要免责声明诚信、专业、稳健、高效

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